このプロジェクトには,半導体,集積回路,フラットパネルディスプレイ,光電子,自動車,新しいエネルギー,ナノ,光ファイバー,マイクロ電子などのハイテク産業が含まれます.石油化学生物医学,様々な研究室,研究機関,標準化試験など
高純度ガスパイプライン技術
高純度ガスパイプ技術は高純度ガス供給システムの重要な部分であり,高純度ガスを必要な供給地点に供給するための重要な技術です.高純度ガスパイプ技術と呼ばれるものは,システムの正しい設計を含みます装具とアクセサリーの選択,建設と設置,試験と...
一般的なガスの種類
一般ガスについては,一般ガス電子機器産業では以下に分類される:一般ガス,散装ガスとも呼ばれる:水素 (H2),窒素 (N2),酸素 (O2),アルゴン (A2) と他の特殊ガス (特殊ガス) 主にシリコン四塩化物ボロンヘクサフロライド,ボロンヘクサフロライド,ボロンヘクサフロライド,ボロンヘクサフロライド,ボロンヘクサフロライド,ボロンヘクサフロライド,ボロンヘクサフロライド,ボロンヘクサフロライド,ボロンヘクサフロライド,ボロンヘクサフロライド,ボロンヘクサフロライドボロンヘクサフローライド特殊ガスは通常,腐食性,毒性,燃やす性,燃やす性補助性,惰性などに分類される.
一般的な半導体ガスは次のように分類される.
(1) 腐食性/毒性:塩酸,BF3,WF6,HBr,シリカ,NH3,PH3,Cl2,Bcl3,など
(ii) 炎症性3336H2,CH4,SiH4,PH3,AsH3,SiH2Cl2,B2H6,CH2F2,CH3F,など
(3) 易燃性:O2,Cl2,N2O,NF3...など
(4) 半導体ガス,例えば高貴なガス:CF4,C2F6,C4F8,CO2,ネオン,クリプトン,ヘリウム...
特に,SiH4のようないくつかのガスは,自発燃焼の性質を有する.漏れが起きたら,空気中の酸素と激しく反応し,燃え始める.AsH3も有毒である.小さい漏れが 人の命に害を及ぼすこれらの明らかな危険性により,システムの設計に対する安全要件は特に高い.
電子特殊ガス管管システム